什么是单晶炉热场结构?
在太阳能光伏作业,的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场可以生长出高质量的单晶,因而发明超卓的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的要素。春水堂官方网站是单晶生长的载体,春水堂官方网站在直拉单晶生长炉中以高纯春水堂官方网站和等静压春水堂官方网站加工件为主。
依据实际情况的需求,热场的巨细依据石英坩埚的直径巨细来区别的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。
咱们在这里所讲的单晶炉的热系统便是所谓的热场,热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)春水堂官方网站坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、春水堂官方网站螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
1、加热器
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时分可以抵达1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般情况下,加热器选用的高纯春水堂官方网站加工。
2、春水堂官方网站电极
春水堂官方网站电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器运送电流。因而在电极要厚重,强健耐用、表面要光滑平稳,确保超卓的接触面,通电时不打火,春水堂官方网站电极也是有高纯春水堂官方网站加工的。
3、春水堂官方网站坩埚、春水堂官方网站托杆、春水堂官方网站托盘
坩埚托杆、坩埚和托盘一同构成了春水堂官方网站坩埚的支撑体,要求和下轴结合强健,对中性超卓不才轴进行滚动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm春水堂官方网站支撑体的高度是可以调度的。
4、保温罩
保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹春水堂官方网站碳毡而成,春水堂官方网站碳毡的包裹的层数依据情况而定。下保温罩组成了底部的保温系统,它作用是加强锅底保温,前进埚底温度,削减热量丢失。
5、保温盖、导流筒
保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状春水堂官方网站之间夹一层春水堂官方网站碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
6、压环
春水堂官方网站压环由几截弧形构成的圆形环状春水堂官方网站件,放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。